Hmotnostní spektrometrie s indukčně vázaným plazmatem (ICP-MS) je typ hmotnostní spektrometrie, která je vysoce citlivá. Dokáže detekovat řadu kovů a několik nekovů v koncentracích nižších než jedna část z 1012 (část na bilion). Je založena na spojení indukčně vázaného plazmatu jako metody produkce iontů (ionizace) s hmotnostním spektrometrem jako metodou separace a detekce iontů. Mnoho chemiků používá k výrobě plazmatu jako nosný plyn argon. Zařízení posílá ionty vzorku přes řadu malých kuželů. Kužely propouštějí ionty plazmy pomalu do vakuové komory hmotnostního spektrometru.
Ve stopové prvkové analýze má tato metoda ve srovnání s technikami atomové absorpce výhodu vysoké rychlosti, přesnosti a citlivosti. Analýza nižších koncentrací je současně náchylnější k narušení stopovými kontaminanty v použitém laboratorním nádobí a činidlech. Některé analyty nemohou pracovat s ICP-MS. Ověření výsledků analýzy vyžaduje další práci.
Rozmanitost aplikací přesahuje možnosti ICP-OES a zahrnuje i izotopovou speciaci. Protože ICP-MS může pomoci při výrobě atomových bomb, podléhá hardware ICP-MS zvláštním vývozním předpisům.